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半導(dǎo)體行業(yè)含氟廢水來源:
半導(dǎo)體是許多工業(yè)整機(jī)設(shè)備的核心,普遍應(yīng)用于計(jì)算機(jī)、消費(fèi)類電子、網(wǎng)絡(luò)通信、汽車電子等核心領(lǐng)域。半導(dǎo)體主要由四個(gè)組成部分組成:集成電路(約占 81%),光電器件(約占 10%),分立器件(約占 6%),傳感器(約占 3%),因此通常將半導(dǎo)體和集成電路等價(jià)。半導(dǎo)體是需求推進(jìn)的市場,在過去四十年中,推動(dòng)半導(dǎo)體業(yè)增長的驅(qū)動(dòng)力已由傳統(tǒng)的 PC 及相關(guān)聯(lián)產(chǎn)業(yè)轉(zhuǎn)向移動(dòng)產(chǎn)品市場,包括智能手機(jī)及平板電腦等,未來則可能向可穿戴設(shè)備、VR/AR 設(shè)備轉(zhuǎn)移。
“氟”在半導(dǎo)體制造過程中被廣泛使用是因?yàn)榉潜容^強(qiáng)的氧化物,因?yàn)檩^強(qiáng)的氧化性,它在清洗和蝕刻工藝中成為首要選擇,氟被使用勢(shì)必會(huì)產(chǎn)生含氟廢水,如何有效對(duì)含氟廢物進(jìn)行合理處置,減少其不必要的排放帶來的環(huán)境污染和生態(tài)破環(huán),降低其可能對(duì)動(dòng)植物及人體的不良影響極為重要。半導(dǎo)體行業(yè)的迅猛發(fā)展帶來了不可忽視的環(huán)境問題,在半導(dǎo)體制造的刻蝕工序中,會(huì)產(chǎn)生大量的含氟廢水,主要包括氫氟酸和氟化銨等成分。
生產(chǎn)流程: